微透镜阵列是许多高端设备的核心器件，在光学成像、数字投影以及光电转换等领域均起着至关重要的作用。其实现功能的关键在于具有能够对入射光线产生聚焦作用的微曲面结构。目前，光刻-热回流是制造微透镜阵列及复刻用模具的典型工艺。其通过光刻过程 ...